一、超精密加工

現(xiàn)代機(jī)械工業(yè)之所以要致力于提高加工精度，其主要原因在于：提高產(chǎn)品的性能和質(zhì)量，提高其穩(wěn)定性和可靠性，促進(jìn)產(chǎn)品的小型化，增強(qiáng)零件的互換性，提高裝配生產(chǎn)率，并促進(jìn)自動(dòng)化裝配。超精密加工。它是尖端技術(shù)產(chǎn)品發(fā)展中不可缺少的關(guān)鍵加工手段。精密、超精密加工技術(shù)的提高，有力地推動(dòng)了各種新技術(shù)的發(fā)展。
精密和超精密加工目前包含三個(gè)領(lǐng)域：
①超精密切削。如超精密金剛石切削，可加工各種鏡面，它成功地解決了高精度大型拋物面鏡的加工，用于激光光核聚變系統(tǒng)和天體望遠(yuǎn)鏡。
②精密和超精密磨削研磨?？梢越鉀Q大規(guī)模集成電路基片的加工和高精度硬磁盤的加工等。
③精密特種加工。如電子束、離子束加工，使美國超大規(guī)模集成電路線寬達(dá)0.1μm(八十年代水平)。

二、微機(jī)械制造技術(shù)

在機(jī)械裝置的小型化過程中出現(xiàn)兩類機(jī)械，即小型機(jī)械和微型機(jī)械?？梢赃@樣劃分：10mm～1mm為小型機(jī)械,用精密加工的方法可以制造出來;1mm～1um為微型機(jī)械,需要用硅微加工技術(shù)或LIGA技術(shù)等微細(xì)加工方法才能制造出來；1um～1nm為納米機(jī)械,是分子級的

零件,需采用生物工程的方法制造。
微型機(jī)械不是傳統(tǒng)機(jī)械的簡單微型化，而是指集微型機(jī)構(gòu)、微型傳動(dòng)器以及信號(hào)處理和控制電路，甚至外圍接口電路、通訊電路和電源等于一體的微型機(jī)電系統(tǒng)。因此，微型機(jī)械遠(yuǎn)遠(yuǎn)超出了傳統(tǒng)機(jī)械的概念和范疇，是基于現(xiàn)代科學(xué)技術(shù)，用嶄新的思維方法指導(dǎo)的產(chǎn)物。

三、超高速切削

通常把切削速度比常規(guī)高5～10倍以上的切削叫做超高速切削。切削溫度通常隨切削速度升高而升高，但超過一定范圍后，切削溫度反而隨切削速度的升高而下降。如圖示。

超高速切削的優(yōu)點(diǎn)：①切屑形態(tài)將從帶狀演變?yōu)槠瑺罨蛩樾?；②切削熱?5%將被切屑帶走；③切削力至少降低30%以上；④工件非常精密、光潔；⑤工件表面的殘留應(yīng)力也小,直接達(dá)到精加工的要求；⑥單位時(shí)間材料切削率增加了6倍。超高速切削目前主要用于飛機(jī)、汽車及模具工業(yè)。超高速切削希望刀具強(qiáng)度高、耐熱性能好。
超高速機(jī)床，是實(shí)現(xiàn)超高速切削的前提條件和關(guān)鍵因素。超高速切削對機(jī)床的主要要求如下：
（1）要有一個(gè)適應(yīng)于超高速運(yùn)轉(zhuǎn)的主軸部件及其驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)。
（2）要有一個(gè)快速反應(yīng)的數(shù)控伺服系統(tǒng)和進(jìn)給部件。
（3）高壓大流量噴射冷卻系統(tǒng)。
（4）要有一個(gè)"三剛"（靜剛度、動(dòng)剛度、熱剛度）特性都很好的機(jī)床支承件